《真行法师塔铭》刊刻于唐永徽元年６５０ ，青石质，高、宽约５０厘米，四边有８厘米左右的边棱，上饰蔓草莲花纹，边棱右上部残损，塔铭中部下凹，这一形制在唐代塔铭中并不多见，但也有发现，如西安碑林藏开元九年７２１ 《师大娘塔铭》就与此颇为类同，应与保护铭文不受风雨侵袭有关，抑或有其他之含义，姑且存疑。塔铭中心位置线刻两铺首，寥寥几笔但极具装饰性，其余部分为文字，８行，满行１０字，楷书。文曰：“大唐光明寺故真行法师／之灵塔师以永徽元年岁次庚戌／正月辛丑朔七日丁／未酉时薨于本寺，时／年七十有七，即以其年二／月庚午朔廿六日乙未建／塔树铭于此。”见下图
据西北大学李建超教授研究认为，长安光明寺是三阶教在京城活动中枢寺院之一见李建超《长安三阶教寺院与终南山三阶教圣地》，韩国汉阳大学民族学研究所《民族与文化》第二辑 。三阶教又称三阶宗、三阶佛法等，是隋代僧人信行创立的一个佛教派别，从６世纪末到９世纪初，在长安曾兴盛一时，并产生了较大的影响。该教倡导无尽藏，以苦行忍辱为宗旨，每日仅乞食一顿，见人一律礼拜，大力提倡布施，人死后置身于森林以供鸟兽食，此即“以身布施”。隋开皇九年５８９ ，信行与弟子奉诏入京，先后于化度、光明、慈门、慧日、弘善五寺设置三阶院，四方僧俗皈依甚众。据史载，长安光明寺有二，一在怀远坊东南隅，一在开明坊，有三阶教活动的光明寺应为前者。有关光明寺的命名时间及命名原因，在《长安志》、《续高僧传·昙延传》、《寺塔记》等文献中说法不一，有待进一步考证。武则天当政之初，光明寺沙门宣政进《大云经》，经中有女主之符，因改寺名为大云经寺，也称大云寺。据《历代名画记》载“大云寺 东浮图北有塔，俗呼为七宝塔。隋文帝造。冯提伽画瘦马并帐幕、人物，已剥落。又东壁、北壁郑法轮画，西壁田僧亮画，外边四面杨契丹画本行经。……三阶院璁下旷野杂兽，似是张孝师画 。”
从《真行法师塔铭》内容可知，真行法师应是光明寺的三阶高僧。文献中还曾记有该寺另一位三阶高僧慧了，据《金石续编·卷五·光明寺慧了塔铭》载慧了从信行受业，唐太宗曾敕其与太子太保萧踽等谈论佛法，“显庆元年八月五日寝疾迁神于光明寺禅房，春囗囗十有四，即以二年二月十五日于终南山木便梓谷禅师囗囗囗骨起塔……”。真行与慧了两位法师基本生活在同一时期，同在光明寺弘扬三阶佛法，真行法师可能也是信行禅师的追随者，可惜其名阙载，塔铭的出土填补了这一空白。
《真行法师塔铭》的出土地长安区王庄乡天子峪村附近，即文献中常称的木便梓谷，这里后建有百塔寺，为三阶教之圣地。隋开皇十四年５９４ ，信行禅师圆寂，其弟子净名、僧邕等三百余人依林葬法收骨起塔于长安城南五十里终南山至相寺木便梓谷，其后信行禅师的教徒及追随者卒后均依林葬法陪葬信行禅师塔侧，唐代中叶以后，因陪葬的小塔累累相继，故谓之百塔，遂建百塔寺。明代金石家赵蛹曾有《游城南百塔寺》一诗：“遥望百塔寺，寺边塔累累。下有敷荣草，下有纷披枝。”清代同治以后，百塔寺毁于兵灾，其地日渐荒凉。百塔寺诸塔修建时多刊有塔铭，书法精湛，向为金石家所好，宋代以后屡有著录，著名的《王居士塔铭》、《化度寺邕禅师塔铭》均出于此地。
《真行法师塔铭》虽文字不多，但书法精妙，其结体端庄方正，笔法轻重得当，有欧虞之风范，加之刻工精良，堪称初唐楷书之精品，故弥足珍贵。
